产品中心
- 联系人 : 张经理
- 联系电话 : 15061589560
- Email : 1952911060@qq.com
- 公司网址 : https://www.acxiubianji.com/
- QQ : 1952911060
产品详情
简单介绍：
激光分子束外延系统的特点：标准的Octoplus 500有11个呈放射状分布的源孔，可以根据需要增选3个源孔。快速抽真空进样室配有水平磁力杆传输系统，可以在不破坏MBE腔室真空的前提下，简便地进行样品传输。
详情介绍：
激光分子束外延系统的优势：
1. 由脉冲激光做溅射源，将预外延材料原子溅射出来在衬底外延沉积得到单晶薄膜，RHEED电子枪做原位监测；
2. 可放多块不同尺寸靶材, 靶台可公自转，靶基距连续可调；3. 样品台衬底可自转，可加热．
激光分子束外延系统的主要参数规格：
● ID 550 mm
● 应用于III/V族， II/VI族或其他异质结构材料
● 大晶片6英寸，或7x2英寸晶片
● 进样室和缓冲腔室
● 线性样品传输系统
● 标准法兰孔数目(标准11个，可按要求增加3个)
● 束流源，气体源，样品台
● 抽真空系统(离子吸附泵，分子泵，低温泵等)
● 原位表征能力
● 软件/硬件控制系统
● 额外要求可定制